电子工业废气VOCs产生环节及污染物类型:

　　VOCs排放涉及涂装行业、农药医药、石油化工行业、涂料油墨染料生产、家具制造业、印刷业、干洗业、电子工业、合成革与人造革等行业。

　　电子工业废气VOCs排放主要特点:

　　电子工业是VOCs排放的主要行业之一，电子工业废气VOCs排放种类多，组分复杂。

　　一般来说，废气排放中风量较大，VOCs浓度较低。半导体工艺过程中有机废气具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和浓度低(通常小于25ppmv)的特点。

　　排放VOCs废气中还含有酸性气体、碱性气体和一些有毒气体

　　现在有的VOC电子工业废气处理方法可以简单分为两大类：

　　一类称为破坏性方法，包括蓄热燃烧法和催化焚烧法;

　　另一类称为回收性方法，常用的回收方法有吸收法、吸附法和光催化氧化技术。

　　一.蓄热燃烧法：

　　蓄热式热氧化(简称RTO)回收热量采用一种新的非稳态热传递方式。主要原理是：有机废气和净化后的排放气交替循环，通过多次不断地改变流向，来大限度地捕获热量，蓄热系统提供了极高的热能回收。

　　通过燃烧来消除有机物的，其操作温度高达700℃-1,000℃，这样不可避免地具有高的燃料费用;为降低燃料费用，需要回收热量，有两种方式：传统的间壁式换热，新型非稳态蓄热换热技术。

　　二.催化燃烧法：

　　本法是把废气加热到200～300℃经过催化床催化燃烧转化成无害无臭的二氧化碳和水，达到净化目的。该法适用于高温、中高浓度的有机废气治理，国内外已有广泛使用的经验，效果良好。该法是治理有机废气的有效方法之一，但对于低浓度、大风量的有机废气治理存在设备投资大、运行成本较高的缺点。

　　三.活性炭吸附法：

　　利用吸附剂(粒状活性炭和活性炭纤维)的多孔结构，将废气中的VOC捕获。将含VOC的有机废气通过活性炭床，其中的VOC被吸附剂吸附，废气得到净化，而排入大气。